Microélectronique

Quelques particules ou molécules de gaz peuvent avoir des conséquences extrêmement graves dans certains process. Imaginez les dégâts que de l'air contaminé pourrait entraîner dans la fabrication de semi-conducteurs, de disques durs et autres process très sensibles.

Les méthodes avancées de production en microélectronique exigent une extrême propreté de l’air et cette exigence augmente sans cesse. La dimension critique des particules pour ces environnements informatiques était en 2009 de moins de 25 nm et il est tout à fait probable que cette dimension continue à diminuer pour probablement atteindre 10 nm vers 2017. La contamination moléculaire aéroportée (AMC) est désormais un enjeu majeur pour tous les sites de production de microélectronique de pointe. Une grande variété d’effets AMC ont été observés influant sur le rendement des productions. La corrosion des disques durs ou des wafers par de l’acide, les dépôts organiques condensables sur des surfaces sensibles ou encore l’exposition à de faibles niveaux d’ammoniac sont des exemples qui vont affecter au moins une étape du process de production.

Le « cœur » de la salle blanche est le filtre, mais de nombreux éléments doivent être pris en considération concernant la classification de la salle, le choix du filtre et l’influence des filtres sur l’environnement.

Camfil est très bien positionné pour recommander les meilleures solutions de filtration d’air pour les industries de pointe et le contrôle AMC, ceci grâce à 15 ans d’expérience dans le domaine de la microélectronique et du contrôle de la contamination pour les semi-conducteurs et à notre implication internationale dans l’ITRS (Technology Roadmap for Semiconductors) document de référence du secteur microélectronique.

Les filtres HEPA/ULPA et moléculaires de Camfil sont produits dans des environnements contrôlés dans nos usines certifiées ISO 9000. Nous sommes en mesure de fabriquer les mêmes types de filtres à air sur nos multiples sites de production. Notre forte capacité de production garantit la disponibilité de nos produits à tout moment dans le monde entier.

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